특징
超高純度 가스 정제기는 불순물을 1ppb이하까지 제거하며, 미립자 및
가스유기물을 고효율로 제거합니다.

사양

정제보증수치
가스종류
정제대상가스
정제대상불순물
정제보증수치
불활성
가스
Ar, He, Kr, Ne, Xe H2O,O2,CO,CO2
1 PPB이하 :실온
H2O,O2,CO,CO2,N2,THC
1 PPB이하 :가열
질 소
N2 H2O, O2, CO, CO2
1 PPB이하 :실온
H2O,O2,CO,CO2,N2,THC
1 PPB이하 :가열
수 소
H2 H2O, O2, CO, CO2 1 PPB이하
(H2O은 10PPB이하) :실온
H2O,O2,CO,CO2,N2,THC
1 PPB이하
(H2O,THC은10PPB이하) :가열
hydride 가스
SiH4, Si2H6, SiH2Cl2,AsH3, PH3, NH3, B2H6H2S, H2Se GeH4, Ge2H6
H2O, O2, CO, CO2
10 PPB이하 :실온
산 소
O2
H2O, CO2
SINGLE
10PPB이하:실온
(H2O은 100PPB이하)
H2O, CO2, H2, THC
DUAL
10PPB이하:가열
(H2O은 100PPB이하)
부식성
가스
HBr, HCL, BCl3, BF3, Cl2
H2O
100PPB이하
(사용분석기FT-IR의 검출한계100PPB이하)