특징
고여과와 고내식성을 특징으로 하는 세라믹 필터입니다.
가스배관계의 미립자를 고여과로 제거함과 동시에 높은 선택성을 실현합니다.
(200℃의 고온 가열가능으로 H20농도를 5ppb이하로 저감)

사양





 
특징
성분을 포함한 모든 재질에 SUS316L을 채용, 간편한 설계에 高濾過精度 더하여
高耐熱性(460℃)를 실현한 ULSI제조용 고성능 가스필터입니다.
사양



 

특징
세라믹 필터의 특징인 미세한 구멍을 이용해 진공파괴시, 난기류룰 억제합니다

사양
 
사양